如何选择合适的真空泵

　 2020-11-16　 414

文章摘要：大家都知道真空泵，真空泵在各个行业都很流行，从而刺激了真空泵行业的快速发展。市面上的真空泵种类和款式多种多样，被各种商家吹得天花乱坠，很多人都犹豫买不买。那么应该如何选择合适的真空…...

大家都知道真空泵，真空泵在各个行业都很流行，从而刺激了真空泵行业的快速发展。市面上的真空泵种类和款式多种多样，被各种商家吹得天花乱坠，很多人都犹豫买不买。那么应该如何选择合适的真空泵，又是根据什么标准呢？

1.真空泵的工作压力应满足真空度和真空设备工作压力的要求。比如真空镀膜要求真空度1×10-5mmHg，选择的真空泵至少要5×10-6mmHg。泵的真空度一般选择比真空设备高一半到一个数量级。

2.正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一个工作压力范围，例如扩散泵为10-3~10-7mmHg。在如此宽的压力范围内，泵的抽速随压力而变化，其稳定工作压力范围为5×10-4~5×10-6mmHg。所以泵的工作点要选在这个范围内，不能在10-8mmHg下长时间工作。再比如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压力应小于1×10-5mmHg。

3.真空泵在其工作压力下，应能排出真空设备过程中产生的所有气体。

4.正确组合真空泵。由于真空泵的选择性抽真空，有时一台泵不能满足抽真空要求，需要组合补充几台泵才能满足抽真空要求。例如，钛升华泵对氢的泵送速度很高，但不能泵送氦，而三极管溅射离子泵(或双极不对称阴极溅射离子泵)对氩的泵送速度很高。如果将两个泵结合起来，真空装置将获得更好的真空度。另外，有些真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压力低于大气压，所以需要前置泵，所以都需要组合泵。

5.真空设备对油污的要求。如果设备严格要求无油，则应选用各种无油泵，如水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加一些防油污措施，比如加冷阱、挡板、隔油池等。，也能满足清洁真空的要求。

6.了解泵送气体的成分，气体中是否含有可冷凝的蒸气，是否有颗粒粉尘，是否有腐蚀性等。选择真空泵时，需要了解气体成分，为泵送的气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒和腐蚀性气体，应考虑安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

7.真空泵排出的油蒸气对环境有什么影响？如果不允许污染环境，可以选择无油真空泵，或者将油蒸汽排到室外。

8.真空泵产生的振动对工艺和环境有影响吗？如果工艺不允许，选择无振动的泵或采取防振措施。

9.真空泵的价格、运行和维护成本。